本实用新型提供一种化学气相沉淀的基体支撑旋转装置。所述化学气相沉淀的基体支撑旋转装置包括：底座；腔体，所述腔体开设在底座上；安装槽，所述安装槽开设在腔体的一侧内壁上；电机，所述电机固定安装在安装槽的底部内壁上，所述电机的输出轴延伸至腔体内；第一锥形齿轮，所述第一锥形齿轮固定安装在电机的输出轴上；内螺纹管，所述内螺纹管转动安装在腔体内；第二锥形齿轮，所述第二锥形齿轮固定套设在内螺纹管上，所述第一锥形齿轮与第二锥形齿轮啮合；空心管，所述空心管固定安装在底座的顶部；螺杆，所述螺杆螺纹安装在内螺纹管内。本实用新型提供的化学气相沉淀的基体支撑旋转装置具有使用方便，可以自动进行封盖的优点。