一种用于改变凹光阻膜厚的电浆清洗机
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于改变凹光阻膜厚的电浆清洗机，涉及电浆清洗技术领域，包括安装底座、电浆发生器、匀浆喷头和高速喷头，电浆发生器固定设置在安装底座顶部一侧，安装底座顶部活动放置有放置板，安装底座顶部焊接有安装架，安装架一侧固定设置有直射灯，安装架另一侧固定设置有刻度线，匀浆喷头和高速喷头均固定安装在安装架顶部，电浆发生器顶部固定设置有电浆排出管，电浆排出管分别通过导管一和导管二与匀浆喷头和高速喷头连通，本实用新型结构合理而新颖，两种电浆喷头搭配电浆发生器实现基本的清洗功能和改变凹光阻膜厚的功能，而直射灯和刻度线的配合能够直观的观察到凹光阻膜的厚度，更别便于操作，操作简单，实用价值高。
基本信息
专利标题 ：
一种用于改变凹光阻膜厚的电浆清洗机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021087522.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-13
授权号 ：
CN212181245U
授权日 ：
2020-12-18
发明人 ：
洪文庆
申请人 ：
锐捷光电科技（江苏）有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市张家港经济技术开发区国泰北路15-28号1C幢
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021087522.7
主分类号 ：
G03F7/16
IPC分类号 ：
G03F7/16
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/16
涂层处理及其设备
法律状态
2020-12-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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