一种用于扫描电镜观察背散射电子像的样品座
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摘要
本实用新型公开了一种用于扫描电镜观察背散射电子像的样品座。该样品座由高角度样品预倾斜放置面和背散射电子反射板组成。合理选择样品和背散射电子反射板的方位可以得到最大的背散射电子检测效率。本发明的目的是利用扫描电镜中已有的二次电子检测器接收背散射电子像，无需改动扫描电镜的电子光学结构即可获得较好的检测效率。本样品座结构简单，成本低，易于操作。
基本信息
专利标题 ：
一种用于扫描电镜观察背散射电子像的样品座
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021142109.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-16
授权号 ：
CN213364632U
授权日 ：
2021-06-04
发明人 ：
周固李崧
申请人 ：
北京师范大学
申请人地址 ：
北京市海淀区新街口外大街19号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021142109.6
主分类号 ：
G01N23/20025
IPC分类号 ：
G01N23/20025 G01N23/203
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N23/00
利用波或粒子辐射来测试或分析材料，例如未包括在G01N3/00-G01N17/00、G01N 21/00 或G01N 22/00中的X射线或中子
G01N23/20
利用材料辐射的衍射，例如，用于测试晶体结构；利用材料辐射的散射，例如测试非晶材料；利用材料辐射的反射
G01N23/20008
分析仪零件结构，例如其特征在于X射线源、检测器或光学系统；其配件；样品制备
G01N23/20025
样品固定架或支架
法律状态
2021-06-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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