一种硅棒外形检测机构
授权
摘要
本实用新型属于硅棒检测技术领域，特别涉及一种硅棒外形检测机构，包括底座总成，沿底座总成长度方向的两端均设有侧面视觉组件。所述底座总成长度方向的两侧设有端面移动视觉组件和端面固定视觉组件，所述端面移动视觉组件旁设有端面移动传感器组件，所述端面固定视觉组件和底座总成之间设有端面固定传感器组件。本实用新型通过高精度位移传感器结合视觉系统对硅棒表面质量和几何参数进行视觉检测的自动化装置，能够准确快速完成硅棒表面质量检测工作。
基本信息
专利标题 ：
一种硅棒外形检测机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021233619.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-30
授权号 ：
CN212227982U
授权日 ：
2020-12-25
发明人 ：
朱佰庆李璐王鹏仇健张毅
申请人 ：
长治高测新材料科技有限公司
申请人地址 ：
山西省长治市潞州区黄碾镇西旺村
代理机构 ：
北京卓岚智财知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
任漱晨
优先权 ：
CN202021233619.4
主分类号 ：
G01B11/02
IPC分类号 ：
G01B11/02 G01B11/24 G01B11/26 G01B11/27 G01N21/952
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
法律状态
2020-12-25 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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