一种真空设备的位置侦测装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种真空设备的位置侦测装置，真空设备包括传送腔室、制程腔室以及真空阀门，所述真空阀门包括阀门盖板、阀体以及位于阀体和阀门盖板之间的阀门通道，其特征在于，位置侦测装置包括固定在所述阀门盖板上的可视盖板、分别射出在所述阀门通道内传输的侦测光束的2个光线传感器以及接收所述侦测光束且将所述侦测光束反射回所述2个光线传感器内的反光板，所述2个光线传感器固定在所述可视盖板内，所述反光板位于所述阀门通道的底部本实用新型提供的真空设备阀门位置侦测装置，可实时自动侦测真空阀门内阀片的位置，有效拦截真空阀门异常状态。
基本信息
专利标题 ：
一种真空设备的位置侦测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021245045.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-29
授权号 ：
CN212779097U
授权日 ：
2021-03-23
发明人 ：
华涛赵辉翟云华沙双庆徐小龙戴林
申请人 ：
南京中电熊猫平板显示科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省南京市栖霞区天佑路7号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021245045.2
主分类号 ：
G01B11/00
IPC分类号 ：
G01B11/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
法律状态
2021-03-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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