晶体生长炉的底部冷却部件及晶体生长炉

授权

摘要

本实用新型公开了一种晶体生长炉的底部冷却部件及晶体生长炉，底部冷却部件包括：底盘和冷却组件，底盘采用导热金属；冷却组件包括多个水冷管套，多个水冷管套固定在底盘的底端，多个水冷管套自底盘的中部向外依次分布且呈同心排布，每个水冷管套均具有进水口和出水口，多个水冷管套各自独立，每个水冷管套的流量和流速中的至少一个被构造成可调节。由此，调控每组管套的水流量可以有效控制不同区域热量的分布，从而对长晶界面有明显的作用，W型界面也可以通过底部水冷盘的温度分布得到解决；而且使得底部热量分布更加可控，可以实现更多的界面形状，拓宽工艺窗口。此外，还具有结构简单、安装成本低廉、安装方便的优点。

基本信息

专利标题：

晶体生长炉的底部冷却部件及晶体生长炉

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021259039.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-07-01

授权号：

CN212865066U

授权日：

2021-04-02

发明人：

王全志

申请人：

苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;包头阿特斯阳光能源科技有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市高新区鹿山路199号

代理机构：

北京景闻知识产权代理有限公司

代理人：

卢春燕

优先权：

CN202021259039.2

主分类号：

C30B28/06

IPC分类号：

C30B28/06