本实用新型公开了一种芯片分析装置，包括分析机，所述分析机由底座、上机体和立板共同组成，所述上机体和底座对应固定连接在立板的同侧上下表面，所述底座内部固定设置有万用表，所述底座的上表面固定连接有托板，所述托板的上表面固定设置有安置槽，所述立板的板身上固定设置有SEM光束头，所述上机体的下表面固定设置有超声波扫描头，所述上机体的正表面中部位置固定设置有显示屏。本实用新型中，通过设置C‑SAM分析结构、电测结构以及SEM标记结构，实现芯片的缺陷诊断、通电测试以及缺陷位置的标记作业，从而完成芯片的分析检测作业，托板的上表面设置有多个不同的芯片槽位，从而实现不同大小芯片的分析作业，保障自身的测试范围，实用性高。