一种测试站三轴微调装置
专利权质押合同登记的生效、变更及注销
摘要
本实用新型公开了一种测试站三轴微调装置，其涉及高精度机械领域，尤其是涉及一种用于半导体晶片制造加工领域的测试站三轴微调装置。通过设置X向调节组件、Y向调节组件和Z向调节组件实现三向微调，为了实现更高精度的微调，本申请在X向调节组件、Y向调节组件和Z向调节组件中增设了交叉滚珠导轨，提高其稳定性能，配合上千分尺旋钮实现精度达到1μm的微调。
基本信息
专利标题 ：
一种测试站三轴微调装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021393016.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-15
授权号 ：
CN212567196U
授权日 ：
2021-02-19
发明人 ：
蔡庆鑫丘劭晖李奕年
申请人 ：
江苏同臻智能科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省镇江市丹阳市齐梁路19号科创园
代理机构 ：
江苏银创律师事务所
代理人 ：
李挺
优先权 ：
CN202021393016.0
主分类号 ：
G01B5/00
IPC分类号 ：
G01B5/00
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B5/00
以采用机械方法为特征的计量设备
法律状态
2021-12-31 ：
专利权质押合同登记的生效、变更及注销
专利权质押合同登记的生效IPC(主分类) : G01B 5/00
登记号 : Y2021330002525
登记生效日 : 20211214
出质人 : 浙江庆鑫科技有限公司
质权人 : 杭州联合农村商业银行股份有限公司海宁支行
实用新型名称 : 一种测试站三轴微调装置
申请日 : 20200715
授权公告日 : 20210219
登记号 : Y2021330002525
登记生效日 : 20211214
出质人 : 浙江庆鑫科技有限公司
质权人 : 杭州联合农村商业银行股份有限公司海宁支行
实用新型名称 : 一种测试站三轴微调装置
申请日 : 20200715
授权公告日 : 20210219
2021-05-07 ：
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : G01B 5/00
登记生效日 : 20210423
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 江苏同臻智能科技有限公司
变更后权利人 : 浙江庆鑫科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 212300 江苏省镇江市丹阳市齐梁路19号科创园
变更后权利人 : 314419 浙江省嘉兴市海宁市海宁经济开发区芯中路8号6幢2楼
登记生效日 : 20210423
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 江苏同臻智能科技有限公司
变更后权利人 : 浙江庆鑫科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 212300 江苏省镇江市丹阳市齐梁路19号科创园
变更后权利人 : 314419 浙江省嘉兴市海宁市海宁经济开发区芯中路8号6幢2楼
2021-02-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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