一种单晶炉隔离腔清理装置
授权
摘要
本实用新型提供一种单晶炉隔离腔清理装置,用于清理密封的隔离腔中的硅粉,其特征在于,包括:可往复旋转地向所述隔离腔吹气的进气单元,以使附着于所述隔离腔内壁上的所述硅粉被吹掉并漂浮于所述隔离腔内;和吸收被所述进气单元吹掉的所述硅粉并使所述硅粉被过滤收集的吸收单元;其中,所述进气单元的位置高于所述吸收单元的位置;所述进气单元的进气口横截面的面积小于所述吸收单元的排气口横截面的面积。本实用新型提出的清理装置结构简单,占用空间小且操作方便,不仅可完全覆盖隔离腔的内腔,而且可快速清理隔离腔内的硅粉,清理效果好且清理时间短。
基本信息
专利标题 :
一种单晶炉隔离腔清理装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021561282.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-07-31
授权号 :
CN212577081U
授权日 :
2021-02-23
发明人 :
吴树飞周泽赵国伟郝瑞军刘振宇刘学杨瑞峰项龙皇甫亚楠王林
申请人 :
内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司
申请人地址 :
内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区阿木尔南街19号
代理机构 :
天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
栾志超
优先权 :
CN202021561282.X
主分类号 :
B08B9/093
IPC分类号 :
B08B9/093 B08B13/00 B08B15/04 C30B29/06 C30B15/00 B01D46/10
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B9/00
用专门的方法或设备清洁空心物品
B08B9/08
清洗容器,如槽的清洗
B08B9/093
用喷气或喷射力的
法律状态
2021-02-23 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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