一种晶锭测量装置
授权
摘要
本申请提供了一种晶锭测量装置,包括:载物台,被构造成用于承载晶锭;厚度测量组件,包括厚度测量仪和位于载物台外侧的第一滑道,厚度测量仪的底部具有与第一滑道配合的滑轮;红外测距组件,包括两个红外测距仪,两个红外测距仪的红外线发射器分别位于晶锭同一直径的两端;辨色组件,包括第一光源和色差仪,第一光源的照射方向朝向晶锭的侧部,色差仪的位置靠近于晶锭侧部的边缘。本申请提供的晶锭测量装置结构设计紧凑,可操作性强,能够在不移动晶锭的条件下,同时对晶锭的厚度、直径以及颜色进行测量,并且还能整体更好的观察晶锭的表面缺陷,相较于现有的人工分别测量的方式,有效提高了晶锭的测量的效率和精度。
基本信息
专利标题 :
一种晶锭测量装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021613090.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-08-05
授权号 :
CN212779161U
授权日 :
2021-03-23
发明人 :
李帅刘圆圆周敏姜兴刚黄治成
申请人 :
山东天岳先进科技股份有限公司
申请人地址 :
山东省济南市槐荫区天岳南路99号
代理机构 :
北京君慧知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
刘晓佳
优先权 :
CN202021613090.9
主分类号 :
G01B21/08
IPC分类号 :
G01B21/08 G01B11/08 G01J3/46 G01N21/88
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B21/00
不适合于本小类其他组中所列的特定类型计量装置的计量设备或其零部件
G01B21/02
用于计量长度、宽度或厚度
G01B21/08
用于计量厚度
法律状态
2021-03-23 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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