立式截断机晶锭截断支持装置

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摘要

一种立式截断机晶锭截断支持装置，包括加工台连接手臂、晶锭夹持组件，加工台连接手臂的一端固定设有加工台连接板，加工台连接手臂的另一端与晶锭夹持组件固定连接，晶锭夹持组件包括移动支撑部件、固定支撑部件、支撑底板，本实用新型是通过加工台连接板与立式截断机固定，可使晶锭夹持组件和立式截断机的加工台以相同的速度移动；利用移动支撑部件、固定支撑部件将晶棒夹持，可更好地环抱晶棒，消除晶棒本体与晶锭之间存在的位置差异，减小重力引起的崩边，而且可根据晶棒尺寸来调节移动支撑部件、固定支撑部件之间的距离。

基本信息

专利标题：

立式截断机晶锭截断支持装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021771363.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-08-21

授权号：

CN213055450U

授权日：

2021-04-27

发明人：

赵延祥刘波程博马玉怀

申请人：

宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司

申请人地址：

宁夏回族自治区银川市西夏区光明西路28号

代理机构：

宁夏合天律师事务所

代理人：

曹广涛

优先权：

CN202021771363.2

主分类号：

B28D5/00

IPC分类号：

B28D5/00