本实用新型公开了一种电子探针用新型样品台，包括样品台，标样孔槽，探针片槽，横向支撑杆，纵向支撑杆，紧固压片，滑槽，紧固螺母，横向定位孔和纵向定位孔，所述样品台内部设置有标样孔槽，所述标样孔槽下侧设置有探针片槽，所述探针片槽内部连接有横向支撑杆，所述横向支撑杆左右两侧设置有横向定位孔，所述横向支撑杆上侧设置有纵向支撑杆，所述纵向支撑杆前后两侧设置有纵向定位孔，所述探针片槽下侧设置有紧固压片，所述紧固压片上侧设置有贯穿的滑槽，所述滑槽内部连接有紧固螺母，该实用新型在放入探针片的同时，可以放入标准样品靶，并对于非常规尺寸的样品片也可以直接放入样品台，不用对其二次加工，更加符合实际测试过程中的应用。