本实用新型公开了一种复杂型面器件超精密射流抛光装置，包括供液系统和安装在六轴运动平台上的抛光喷嘴部件，所述供液系统将预混合的抛光液以指定的压力和速度通过射流喷嘴喷射到固定在工作台上的待加工工件的表面上，所述抛光液中的颗粒与待加工工件的表面相互作用，进行材料的纳米去除，最终实现对待加工工件的表面材料进行去除和修整加工。本实用新型中射流喷嘴具有偏心单孔结构、偏心多孔结构和非偏心多孔结构多种不同的结构形式，可以根据需要进行选择。采用本实用新型射流抛光装置进行抛光加工，可以保证在复杂型面器件超精密射流抛光过程中供液系统能够提供压力、浓度、温度、流量、PH值等稳定的抛光液，保证工件表面的抛光质量。