一种用于类金刚石镀膜设备的保养装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于类金刚石镀膜设备的保养装置，包括箱体和箱盖，所述箱体的上表面固定连接有箱盖，所述箱体的一侧设置有抽气装置，所述箱体的内部设置有水循环装置，所述箱体的内底壁固定连接有第一蒸发板，所述第一蒸发板的上方设置有第二蒸发板，所述第二蒸发板之间设置有镀膜腔。该用于类金刚石镀膜设备的保养装置，通过立杆的设置，能够避免换热管与第二蒸发板直接接触，起到了保护和支撑的作用，通过水循环装置的设置，能够通过水泵将水箱内的冷水抽进箱体内，同时换热管将箱体内的水再排进水箱，达到水循环的目的，从而实现对箱体内部的降温散热，起到了保养的作用，避免箱体内部零件因温度过高而损坏。
基本信息
专利标题 ：
一种用于类金刚石镀膜设备的保养装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022045469.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-17
授权号 ：
CN213327806U
授权日 ：
2021-06-01
发明人 ：
李长栋魏承亚魏茂奎
申请人 ：
山东沐东真空科技有限公司
申请人地址 ：
山东省聊城市阳谷县博济桥办事处谷山路南段（建委对过）
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202022045469.0
主分类号 ：
C23C14/24
IPC分类号 ：
C23C14/24 C23C14/56 C23C14/06
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
2021-06-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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