本实用新型公开了一种保证纳米材料纯度的团簇离子束纳米加工设备，包括团簇离子束纳米加工机，团簇离子束纳米加工机的底部固定安装有安装架，安装架的内部固定安装有纳米团簇离子检测桶，纳米团簇离子检测桶的一侧固定安装有团簇离子回流管，团簇离子回流管的外部固定套接有回流泵，回流泵的正面固定安装有旋转电机，旋转电机的输出端固定安装有回流扇叶，团簇离子束纳米加工机的顶部固定安装有纳米粒子检测桶。通过启动安装的转动电机可以纳米粒子分离杆进行旋转，在旋转的过程中，通过安装的纳米粒子筛网可以将合格的纳米粒子落入团簇离子束纳米加工机内进行加工，可以有效的保证了加工所用的纳米材料的纯度。