一种蓝宝石晶棒退火梯度冷却装置
授权
摘要

本实用新型公开了晶棒退火冷却技术领域的一种蓝宝石晶棒退火梯度冷却装置,包括冷却箱体,冷却箱体的侧壁均匀安装有三组保护气注入管,且三组保护气注入管的外端之间竖向安装有保护气注入接头,保护气注入接头的顶端与外界保护气注入管连接,本实用新型通过在环形输送板的上方设置有带有用来放置蓝宝石晶棒卡槽的晶棒卡板,且环形输送板和晶棒卡板均为环形的设置,同时在环形输送板和晶棒卡板之间设置有一级冷却箱体、二级冷却箱体以及三级冷却箱体,使高温退火后的蓝宝石晶棒能够以环形输送的方式进行逐级的梯度降温冷却,且可以一边对高温的蓝宝石晶棒放置,一边对冷却后的蓝宝石晶棒卸载。

基本信息
专利标题 :
一种蓝宝石晶棒退火梯度冷却装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022482004.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-10-29
授权号 :
CN213680976U
授权日 :
2021-07-13
发明人 :
戴生伢张引钱松根陈福金黄振进
申请人 :
南京理工宇龙新材料科技股份有限公司
申请人地址 :
江苏省南京市溧水区东屏镇工业园区金港路15号
代理机构 :
南京行高知识产权代理有限公司
代理人 :
肖念
优先权 :
CN202022482004.1
主分类号 :
C30B29/20
IPC分类号 :
C30B29/20  C30B33/02  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B29/00
以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料
C30B29/10
无机化合物或组合物
C30B29/16
氧化物
C30B29/20
铝的氧化物
法律状态
2021-07-13 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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