一种用于砷化镓蓝膜的承载治具
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于砷化镓蓝膜的承载治具，该承载具作为砷化镓产品的专用治具，不同于封装设备(ASM)使用的常规治具，其结构可分为上下两层，下层结构用于将整个治具设置在封装设备上，上层结构用于承载并固定砷化镓蓝膜。该专用承载治具改变了设备加工产品的多样性，不受制于常规承片台加工形式，该治具在实际作业过程中，安全高效，使用便捷；避免二次接触杜绝了沾污、划伤、裂片风险。使用时操作方便，节省更换晶圆时间、提升作业效率。通过使用该治具实现砷化镓蓝膜等特殊产品正常量产作业。
基本信息
专利标题 ：
一种用于砷化镓蓝膜的承载治具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022522504.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-11-04
授权号 ：
CN213071097U
授权日 ：
2021-04-27
发明人 ：
石军强
申请人 ：
华天科技（西安）有限公司
申请人地址 ：
陕西省西安市经济技术开发区凤城五路105号
代理机构 ：
西安通大专利代理有限责任公司
代理人 ：
李红霖
优先权 ：
CN202022522504.3
主分类号 ：
H01L21/687
IPC分类号 ：
H01L21/687 H01L21/673
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
H01L21/687
使用机械装置的，例如卡盘、夹具或夹子
法律状态
2021-04-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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