具有分段的基板卡盘的承载头
公开
摘要
一种用于化学机械抛光装置的承载头，包括承载主体、外部膜组件、环状分段的卡盘及内部膜组件。外部膜组件从承载主体支撑且界定第一多个独立可加压外部腔室。环状分段的卡盘支撑在外部膜组件下方，且包括可由外部膜组件的各个可加压腔室独立垂直移动的多个同心环。环中的至少两者具有穿过其中以将基板吸卡至卡盘的通路。内部膜组件从承载主体支撑，且由卡盘的多个同心环的最内部环围绕。内部膜组件界定第二多个独立可加压内部腔室，且具有接触基板的下部表面。
基本信息
专利标题 ：
具有分段的基板卡盘的承载头
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114466725A
申请号 ：
CN202080068979.X
公开（公告）日 ：
2022-05-10
申请日 ：
2020-08-21
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
S·M·苏尼卡J·古鲁萨米
申请人 ：
应用材料公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
上海专利商标事务所有限公司
代理人 ：
汪骏飞
优先权 ：
CN202080068979.X
主分类号 ：
B24B37/32
IPC分类号 ：
B24B37/32
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置；附件
B24B37/27
工件载体
B24B37/30
用于平面的单侧研磨
B24B37/32
保持环
法律状态
2022-05-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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