单晶金属氧化物等离子体室部件
公开
摘要
等离子体处理室的部件包含单晶金属氧化物材料。该等离子体处理室具有该部件的面向等离子体的至少一个表面。该部件可以由单晶金属氧化物锭机械加工而成。合适的单晶金属氧化物包括尖晶石、钇氧化物和钇铝石榴石(YAG)。可以机械加工单晶金属氧化物以形成等离子体处理室的气体注入器。
基本信息
专利标题 ：
单晶金属氧化物等离子体室部件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114631167A
申请号 ：
CN202080076017.9
公开（公告）日 ：
2022-06-14
申请日 ：
2020-10-21
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
许临道格拉斯·德特尔特约翰·多尔蒂潘卡基·哈扎里卡萨蒂什·斯里尼瓦桑纳什·W·安德森约翰·迈克尔·克恩斯罗宾·科什伊大卫·约瑟夫·韦策尔刘磊埃里克·A·派普
申请人 ：
朗姆研究公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
上海胜康律师事务所
代理人 ：
李献忠
优先权 ：
CN202080076017.9
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2022-06-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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