一种单晶炉管道氧化物清理装置
授权
摘要
本申请涉及单晶炉设备清理领域,尤其是涉及一种单晶炉管道氧化物清理装置,清理装置包括:清理机构,清理机构包括:安装座;叶片组件,叶片组件具有多个,每个叶片组件作用于管道的内壁,叶片组件转动连接于安装座,使得叶片组件相对于管道可转动;驱动机构,驱动机构用于驱动叶片组件转动,驱动机构包括:联动轴,联动轴转动连接于安装座,且与每个清理机构的叶片组件传动连接;驱动组件,驱动组件设置于联动轴的一端。每个清理机构能够同时启动,减小清理机构之间启动的时间差,减小出现其中一个排气管道先通气而另一个排气管道后通气的问题,提高单晶炉内气流的稳定性。
基本信息
专利标题 :
一种单晶炉管道氧化物清理装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122764805.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-11-12
授权号 :
CN216655634U
授权日 :
2022-06-03
发明人 :
叶钢飞倪军夫俞安洲石明智王鹏飞胡建荣傅林坚曹建伟
申请人 :
浙江晶盛机电股份有限公司
申请人地址 :
浙江省绍兴市上虞区通江西路218号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202122764805.1
主分类号 :
B08B9/027
IPC分类号 :
B08B9/027
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B9/00
用专门的方法或设备清洁空心物品
B08B9/02
清洁管道、管子、管子系统或管道系统
B08B9/027
清洁内表面;去除堵塞物
法律状态
2022-06-03 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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