一种硬轴单晶炉的主轴氧化物清理装置
公开
摘要
本申请涉及单晶炉，尤其是涉及一种硬轴单晶炉的主轴氧化物清理装置，包括：安装座；第一环形件，第一环形件的外边缘具有第一固定边，第一环形件与第一固定边之间形成第一腔；第二环形件，第二环形件连接于第一环形件，第二环形件与第一环形件之间形成第二腔；导向组件，导向组件用于引导气流的流向中。形成环扫的气流并作用于主轴的外壁上，一方面防止氧化物在主轴的外壁上附着，另一方面将附着于主轴外壁上的氧化物吹走，并带入到第一环形件的第一腔中，防止氧化物掉落而污染坩埚中的硅原料。解决了现有技术中单晶炉中形成的氧化物污染硅原料的技术问题；达到除去单晶炉中所形成的氧化物的技术效果。
基本信息
专利标题 ：
一种硬轴单晶炉的主轴氧化物清理装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114289408A
申请号 ：
CN202111394849.8
公开（公告）日 ：
2022-04-08
申请日 ：
2021-11-23
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
朱亮叶钢飞傅林坚胡建荣叶雷江梁晋辉曹建伟
申请人 ：
浙江晶盛机电股份有限公司
申请人地址 ：
浙江省绍兴市上虞区通江西路218号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202111394849.8
主分类号 ：
B08B5/02
IPC分类号 ：
B08B5/02 C30B35/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B5/00
利用空气流动或气体流动的清洁方法
B08B5/02
用喷气力来清洁，如吹清凹处
法律状态
2022-04-08 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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