一种用于芯片封装的热压烧结夹具及芯片封装方法
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摘要
本发明公开了一种用于芯片封装的热压烧结夹具及芯片封装方法,包括机架、下加热板、压头、上配合盖板、压力传感器、传压导杆、加压机构、推力轴承、丝杆、丝杆螺母和转动手柄,下加热板与上配合盖板在四角处精密配合,保证上下两板间的平行度;压力大小通过两个互斥的电磁铁中电流大小控制。压头与传压导杆之间为球铰结构,可保证芯片上表面与基板下表面不平行时,芯片上表面可以均匀受压。传压导杆与上配合盖板的竖直通孔精密配合,保证了传压导杆在加压时与下加热板上表面的垂直度,加压过程中可保证烧结层焊料厚度的均匀性;加热过程中通过压力反馈,控制电磁铁电流大小,实现压力恒定控制。
基本信息
专利标题 :
一种用于芯片封装的热压烧结夹具及芯片封装方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN112786523A
申请号 :
CN202110031349.1
公开(公告)日 :
2021-05-11
申请日 :
2021-01-11
授权号 :
CN112786523B
授权日 :
2022-06-03
发明人 :
吴永超彭鹏郭伟
申请人 :
北京航空航天大学
申请人地址 :
北京市海淀区学院路37号北京航空航天大学
代理机构 :
北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
符继超
优先权 :
CN202110031349.1
主分类号 :
H01L21/687
IPC分类号 :
H01L21/687 H01L21/67 H01L21/603
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
H01L21/687
使用机械装置的,例如卡盘、夹具或夹子
法律状态
2022-06-03 :
授权
2021-05-28 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/687
申请日 : 20210111
申请日 : 20210111
2021-05-11 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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