一种改进的草酸铟溶解剂组合物及蚀刻设备清洗工艺
授权
摘要
本发明公开了一种改进的草酸铟溶解剂组合物，主要组分为碱性组分、螯合剂、pH值调节剂和水，螯合剂主要组成为螯合剂A和螯合剂B，螯合剂A为选自氨基多羧酸及其盐中的至少一种，螯合剂B为羟基多羧酸及其盐中的至少一种，改进的草酸铟溶解剂组合物的pH值为9.5～10.5。本发明改进的草酸铟溶解剂组合物采用复配螯合剂体系，利用两种螯合剂在草酸铟溶解剂组合物体系下具有协同的螯合性能，增加草酸铟的溶解度并且提高溶解速率。本发明还公开了一种基于草酸铟溶解剂组合物的蚀刻设备清洗工艺。
基本信息
专利标题 ：
一种改进的草酸铟溶解剂组合物及蚀刻设备清洗工艺
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN113025333A
申请号 ：
CN202110224947.0
公开（公告）日 ：
2021-06-25
申请日 ：
2021-03-01
授权号 ：
CN113025333B
授权日 ：
2022-04-08
发明人 ：
邵勇徐杨朱永刚顾维忠彭聪胡生望
申请人 ：
四川江化微电子材料有限公司
申请人地址 ：
四川省眉山市彭山经济开发区创新二路东段12号
代理机构 ：
无锡坚恒专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
杜兴
优先权 ：
CN202110224947.0
主分类号 ：
C09K13/06
IPC分类号 ：
C09K13/06 H01L21/306
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C09
染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用
C09K
不包含在其他类目中的各种应用材料；不包含在其他类目中的材料的各种应用
C09K13/00
蚀刻，表面光亮或浸蚀组合物
C09K13/04
含一种无机酸
C09K13/06
带有机材料的
法律状态
2022-04-08 ：
授权
2021-07-13 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C09K 13/06
申请日 : 20210301
申请日 : 20210301
2021-06-25 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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