一种用于晶圆加工的双面研磨设备
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摘要

本发明公开了一种用于晶圆加工的双面研磨设备,其结构包括底架、传动箱、联动箱、控制箱、研磨盘,底架上端焊接连接于联动箱下端,传动箱下端固定连接于底架上端,联动箱下端与研磨盘上端相连接,控制箱左端螺柱连接于联动箱右端,将设备进行通电,把硅晶棒放入研磨盘内,操控控制箱对硅晶棒进行研磨,硅晶棒在研磨的过程中,推动卡块挤压弹簧,卡块抵住固定条,弹簧进行回弹推动卡块,使硅晶棒固定在导盘上端进行研磨,通过转轴内的驱动轮带动连接杆外侧的滑球在滑圈内进行旋转,使卡板挤压压柱进行回弹产生振动,传导给磨块与磨环,防止硅粉溶解卡住凹槽,导致磨盘呈光滑面,造成硅晶棒发生滑动,使研磨尺寸发生改变。

基本信息
专利标题 :
一种用于晶圆加工的双面研磨设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN113021174A
申请号 :
CN202110225971.6
公开(公告)日 :
2021-06-25
申请日 :
2021-03-01
授权号 :
CN113021174B
授权日 :
2022-05-17
发明人 :
石小亮
申请人 :
石小亮
申请人地址 :
上海市奉贤区肖南路455号上海朕芯微电子科技有限公司
代理机构 :
安徽盟友知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
樊广秋
优先权 :
CN202110225971.6
主分类号 :
B24B37/02
IPC分类号 :
B24B37/02  B24B37/34  H01L21/67  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置;附件
B24B37/02
适用于加工回转面的
法律状态
2022-05-17 :
授权
2022-05-10 :
专利申请权、专利权的转移
专利申请权的转移IPC(主分类) : B24B 37/02
登记生效日 : 20220428
变更事项 : 申请人
变更前权利人 : 石小亮
变更后权利人 : 广东宝元通检测设备有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 200000 上海市奉贤区肖南路455号上海朕芯微电子科技有限公司
变更后权利人 : 523000 广东省东莞市常平镇朗洲村
2021-07-13 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B24B 37/02
申请日 : 20210301
2021-06-25 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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