一种可调谐垂直腔面发射激光器及其制备方法
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摘要
一种可调谐垂直腔面发射激光器及其制备方法，其中，可调谐垂直腔面发射激光器包括：衬底层；位于所述衬底层上的增益结构；位于所述增益结构背向所述衬底层一侧的光栅层，所述光栅层包括若干栅本体和相邻栅本体之间的光栅缝，所述栅本体的材料为电光材料；位于所述增益结构背向所述衬底层一侧的第一电极层，所述第一电极层适于对所述栅本体加电调制。所述可调谐垂直腔面发射激光器稳定性和可靠性提高。
基本信息
专利标题 ：
一种可调谐垂直腔面发射激光器及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN113054531A
申请号 ：
CN202110252252.3
公开（公告）日 ：
2021-06-29
申请日 ：
2021-03-08
授权号 ：
CN113054531B
授权日 ：
2022-04-29
发明人 ：
肖垚王俊刘恒闵大勇
申请人 ：
苏州长光华芯光电技术股份有限公司;苏州长光华芯半导体激光创新研究院有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市高新区昆仑山路189号科技城工业坊-A区2号厂房-1-102、2号厂房-2-203
代理机构 ：
北京三聚阳光知识产权代理有限公司
代理人 ：
薛异荣
优先权 ：
CN202110252252.3
主分类号 ：
H01S5/183
IPC分类号 ：
H01S5/183 H01S5/042 H01S5/12 H01S5/062 H01S5/068
法律状态
2022-04-29 ：
授权
2021-07-16 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01S 5/183
申请日 : 20210308
申请日 : 20210308
2021-06-29 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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