层叠体的制造方法及处理方法、用于该制造方法及处理方法的感...
公开
摘要
本发明涉及一种具有具备高粘合性且激光加工性优异的粘合剂层的层叠体的制造方法及处理方法、用于该制造方法及处理方法的感光性树脂组合物。本发明的层叠体的制造方法包含：在支撑体及被附着体的任一者或两者的表面形成包含粘合剂层的步骤；及通过所形成的粘合剂层使支撑体与被附着体粘合的步骤。本发明的层叠体的处理方法包含：准备具有支撑体、粘合剂层及被附着体的层叠体的步骤；及对层叠体照射光线而将支撑体与被附着体分离的步骤。本发明的感光性树脂组合物包含：(A)通式(1)所示的含不饱和基的碱可溶性树脂；(B)至少具有1个以上的乙烯性不饱和键的光聚合性单体；(C)光聚合引发剂；及(D)光敏剂作为必要成分。
基本信息
专利标题 ：
层叠体的制造方法及处理方法、用于该制造方法及处理方法的感光性树脂组合物
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114371599A
申请号 ：
CN202111203573.0
公开（公告）日 ：
2022-04-19
申请日 ：
2021-10-15
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
内田一幸高野正臣
申请人 ：
日铁化学材料株式会社
申请人地址 ：
日本东京都中央区日本桥一丁目13番1号
代理机构 ：
北京戈程知识产权代理有限公司
代理人 ：
程伟
优先权 ：
CN202111203573.0
主分类号 ：
G03F7/027
IPC分类号 ：
G03F7/027 G03F7/004 B32B43/00 B32B37/12
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/004
感光材料
G03F7/027
具有碳—碳双键的非高分子的可光聚合的化合物，例如，乙烯化合物
法律状态
2022-04-19 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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