本发明提供一种所获得的图案的形状优异的图案形成方法、用于上述图案形成方法的感光性树脂组合物、包括上述图案形成方法的层叠体的制造方法及包括上述图案形成方法的电子器件的制造方法。图案形成方法包括：第一区域曝光工序，对由感光性树脂组合物构成的感光膜的一部分区域即第一区域进行选择性曝光；第二区域曝光工序，对第二区域进行选择性曝光；及显影工序，对上述第二区域曝光工序后的感光膜进行显影，包含在上述第一区域中的至少一部分区域和包含在上述第二区域中的至少一部分区域为共同区域，上述感光性树脂组合物包含特定的树脂及感光剂。