感光性树脂
公开
摘要
本发明是关于分子中至少有1个由化学式(1)(式中n是1—10的整数)表示的基团的感光性树脂。本发明的感光性树脂，其分子内具有1个以上在300nm以上具有吸收波长范围的叠氮基，因此是高灵敏度的感光性树脂。这种感光性树脂可用于透过该波长范围的光的工业生产成本低的乳剂被覆制造的光致抗蚀剂或钠钙玻璃制造的光致抗蚀剂。本发明的感光性树脂作为光致抗蚀剂作用非常有效。
基本信息
专利标题 ：
感光性树脂
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1102260A
申请号 ：
CN94102642.6
公开（公告）日 ：
1995-05-03
申请日 ：
1994-03-05
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
宫崎忠一水盛正英本村美树
申请人 ：
三洋化成工业株式会社
申请人地址 ：
日本京都府
代理机构 ：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 ：
吴大建
优先权 ：
CN94102642.6
主分类号 ：
G03F7/012
IPC分类号 ：
G03F7/012
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/004
感光材料
G03F7/008
叠氮化合物
G03F7/012
高分子叠氮化合物；高分子添加剂，例如，黏结剂
法律状态
1995-05-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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