磁性隧道结器件、使用其的磁存储器装置以及其制造方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开一种磁性隧道结器件、使用其的磁存储器装置以及其制造方法。根据本发明实施例的磁性隧道结器件的制造方法，可以包括：层叠步骤，在衬底上形成包括至少一个金属氧化物层和金属层的初始多层结构；热处理步骤，对所述初始多层结构进行热处理；以及器件形成步骤，形成通过所述热处理所述至少一个金属氧化物层及所述金属层变换为至少一个铁磁层及氧化物层的最终多层结构的磁性隧道结器件。
基本信息
专利标题 ：
磁性隧道结器件、使用其的磁存储器装置以及其制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114497363A
申请号 ：
CN202111242297.9
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2021-10-25
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
洪钟一
申请人 ：
延世大学校产学协力团
申请人地址 ：
韩国首尔
代理机构 ：
北京康信知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
车美灵
优先权 ：
CN202111242297.9
主分类号 ：
H01L43/12
IPC分类号 ：
H01L43/12 H01L43/08 H01L43/02 H01L27/22
法律状态
2022-05-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 43/12
申请日 : 20211025
申请日 : 20211025
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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