金属被膜的成膜装置和成膜方法
实质审查的生效
摘要

提供能够以均匀的膜厚形成金属被膜的金属被膜的成膜装置和成膜方法。本发明的金属被膜的成膜装置,其特征在于,具备:阳极;设置于所述阳极与成为阴极的基材之间的固体电解质膜;向所述阳极和所述阴极之间施加电压的电源部;在所述阳极与所述固体电解质膜之间收纳包含金属离子的溶液的溶液收纳部;和利用所述溶液的液压将所述固体电解质膜向所述阴极侧加压的加压部,一边由所述固体电解质膜对所述基材的表面的成膜区域进行加压,一边通过施加所述电压而使在所述固体电解质膜的内部含有的所述金属离子析出,由此在所述成膜区域形成金属被膜,所述成膜装置还具备辅助阴极,所述辅助阴极设置于俯视所述基材的表面的情况下的所述成膜区域的周围,且电位比所述阳极低。

基本信息
专利标题 :
金属被膜的成膜装置和成膜方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114540927A
申请号 :
CN202111374943.7
公开(公告)日 :
2022-05-27
申请日 :
2021-11-18
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
加藤彰近藤春树东小园创真
申请人 :
丰田自动车株式会社
申请人地址 :
日本爱知县
代理机构 :
北京市中咨律师事务所
代理人 :
刘航
优先权 :
CN202111374943.7
主分类号 :
C25D17/10
IPC分类号 :
C25D17/10  C25D17/00  C25D21/12  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C25
电解或电泳工艺;其所用设备
C25D
覆层的电解或电泳生产工艺方法;电铸;工件的电解法接合;所用的装置
C25D17/00
电解镀覆用电解槽的结构件、或其组合件
C25D17/10
电极
法律状态
2022-06-14 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C25D 17/10
申请日 : 20211118
2022-05-27 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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