一种真空镀膜机用多规格密封圈镀膜工装及镀膜方法
实质审查的生效
摘要

本发明公开了一种真空镀膜机用多规格密封圈镀膜工装,包括圆柱形支撑底座和悬挂齿臂,所述支撑底座外圆周面排布有多个限位卡槽,所述悬挂齿臂悬挂在所述限位卡槽内;所述悬挂齿臂至少设有两个,且两个悬挂齿臂为一组。本发明还公开一种镀膜方法,使用上述的密封圈镀膜工装进行密封圈镀膜,将所述密封圈镀膜工装放在真空镀膜机的真空室中心轴线上随转盘进行转动即可完成镀膜。本发明可以在真空室腔体尺寸、靶极距不变的情况下,实现单次密封圈加工数量的数倍增长,可适应不同尺寸密封圈的镀膜,在不影响密封圈镀膜强化效果的同时,提高镀膜效率,降低镀膜成本。

基本信息
专利标题 :
一种真空镀膜机用多规格密封圈镀膜工装及镀膜方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114351105A
申请号 :
CN202111455549.6
公开(公告)日 :
2022-04-15
申请日 :
2021-12-01
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
李莎蹤雪梅冯森
申请人 :
江苏徐工工程机械研究院有限公司
申请人地址 :
江苏省徐州市徐州经济技术开发区驮蓝山路26号
代理机构 :
南京纵横知识产权代理有限公司
代理人 :
王玉
优先权 :
CN202111455549.6
主分类号 :
C23C14/50
IPC分类号 :
C23C14/50  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2022-05-03 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/50
申请日 : 20211201
2022-04-15 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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