约瑟夫逊结制造方法
公开
摘要
本发明提供了约瑟夫逊结制造方法。本发明涉及约瑟夫逊结的制造。这样的约瑟夫逊结可能适合于在量子比特方面使用。使用毯式沉积形成高质量的可能的单晶电极和介电层；随后通过以下操作来形成多个约瑟夫逊结之一的结构：使用多光子光刻以在抗蚀剂中创建开口，然后对电极和介电层进行蚀刻。
基本信息
专利标题 ：
约瑟夫逊结制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114597307A
申请号 ：
CN202111480648.X
公开（公告）日 ：
2022-06-07
申请日 ：
2021-12-06
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李天一刘伟曼朱纳·拉马钱德拉帕·文卡泰什哈斯南·艾哈迈德曾国维陈冠言
申请人 ：
IQM芬兰有限公司
申请人地址 ：
芬兰埃斯波
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
王伟楠
优先权 ：
CN202111480648.X
主分类号 ：
H01L39/24
IPC分类号 ：
H01L39/24 H01L39/12 H01L39/22
法律状态
2022-06-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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