一种旋转磁场导向沉积的真空镀膜设备及镀膜方法
实质审查的生效
摘要

本发明属于真空镀膜设备技术领域,具体涉及一种旋转磁场导向沉积的真空镀膜设备及镀膜方法,旋转磁场导向沉积的真空镀膜设备,包括真空弧磁过滤装置、弧源组件和真空镀膜腔室;真空弧磁过滤装置包括过滤管道,所述过滤管道上设有线圈模组,所述过滤管道接近出口端处设置有旋转磁场发生装置,所述旋转磁场发生装置用于在过滤管道接近出口端的内腔区域形成可调旋转磁场。旋转磁场发生装置在过滤管道接近出口端的内腔区域形成可调旋转磁场,离子束在可调旋转磁场在作用下发生偏转,使离子束在出口端以不同的偏转角度和旋转速度离开过滤管道进入真空镀膜腔室,因此,可大大增大一段时间内的沉积镀膜面积。通过对旋转磁场的调控,可以使一段时间内进入真空镀膜腔室的离子在较大的沉积表面上相对较为均匀的分布。

基本信息
专利标题 :
一种旋转磁场导向沉积的真空镀膜设备及镀膜方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114318245A
申请号 :
CN202111507370.0
公开(公告)日 :
2022-04-12
申请日 :
2021-12-10
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
郎文昌刘俊红徐峰李多生刘伟
申请人 :
苏州艾钛科纳米科技有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市高新区浒杨路16号厂房2幢A102室
代理机构 :
温州名创知识产权代理有限公司
代理人 :
朱海晓
优先权 :
CN202111507370.0
主分类号 :
C23C14/32
IPC分类号 :
C23C14/32  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/32
爆炸法;蒸发及随后的气化物电离法
法律状态
2022-04-29 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/32
申请日 : 20211210
2022-04-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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