一种减少蒸发镀层的真空电子束冷床熔炼炉系统
实质审查的生效
摘要

本发明公开了一种真空电子束冷床熔炼炉系统,包括熔炼单元、真空抽气单元和抽蒸发料单元;熔炼单元包括EB炉体,EB炉体中设置有铸造坩埚和水平坩埚;真空抽气单元包括扩散泵,EB炉体与扩散泵通过真空抽气管道连通;抽蒸发料单元包括沉粉腔和扩散泵,EB炉体与扩散泵通过蒸发料抽除管道连通,蒸发料抽除管道的入口设置在水平坩埚的上方;蒸发料抽除管道包括多段,相邻段的轴心方向不同,相邻段的连接处的底部设置有沉粉腔。本发明中通过抽蒸发料单元的设置,对杂质与原料蒸发产生的蒸发料进行收集,大大减少EB炉体与蒸发料的接触,大大减缓蒸发镀层的形成速率。

基本信息
专利标题 :
一种减少蒸发镀层的真空电子束冷床熔炼炉系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114485166A
申请号 :
CN202111520689.7
公开(公告)日 :
2022-05-13
申请日 :
2021-12-13
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
吴景晖雷孝吕杜全国王秦超吴栋宋彦明姚力军
申请人 :
宁波创润新材料有限公司
申请人地址 :
浙江省宁波市余姚市临山镇临浦村
代理机构 :
上海申新律师事务所
代理人 :
郎祺
优先权 :
CN202111520689.7
主分类号 :
F27B14/06
IPC分类号 :
F27B14/06  F27B14/10  F27B14/16  C22B9/22  C23C18/31  
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F27
炉;窑;烘烤炉;蒸馏炉
F27B
一般馏炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉;开式烧结设备或类似设备
F27B
一般馏炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉;开式烧结设备或类似设备
F27B14/00
坩埚炉或罐式炉;浴炉
F27B14/06
带有或不带有其他热源的电加热的,例如感应坩埚炉
法律状态
2022-05-31 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : F27B 14/06
申请日 : 20211213
2022-05-13 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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