一种单片集成激光陀螺芯片及其制备方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种单片集成激光陀螺芯片，包括InP晶片、SOI结构、激光器、第一MZM调制器及第二MZM调制器；激光器、第一MZM调制器及第二MZM调制器通过InP晶片设在SOI结构上；SOI结构内设有传输波导和螺旋线型波导；传输波导包括第一波导和第二波导，激光器、第一波导、第二波导、第一MZM调制器、第二MZM调制器及螺旋线型波导依次连接且相互对准；激光器用于产生连续激光；第一MZM调制器用于对连续激光的光强进行调制，得到调制后激光；第二MZM调制器的两臂用于将调制后激光分为功率相等的两束激光，两束激光分别从螺旋线型波导的两端进入螺旋线型波导。能够解决激光器、第一MZM调制器、第二MZM调制器及螺旋线型波导之间位置对准难度高，调试困难的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种单片集成激光陀螺芯片及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114413875A
申请号 ：
CN202111542212.9
公开（公告）日 ：
2022-04-29
申请日 ：
2021-12-16
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
王斌张奕泽张天禹
申请人 ：
光子集成（温州）创新研究院
申请人地址 ：
浙江省温州市龙湾区蒲州街道兴平路396号光电大厦5层
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202111542212.9
主分类号 ：
G01C19/72
IPC分类号 ：
G01C19/72
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01C
测量距离、水准或者方位；勘测；导航；陀螺仪；摄影测量学或视频测量学
G01C19/00
陀螺仪；使用振动部件的转动敏感装置；不带有运动部件的转动敏感装置；使用陀螺效应测量角速率
G01C19/58
不带有运动部件的转动敏感装置
G01C19/64
利用萨格萘克效应，即利用逆向旋转的两电磁束之间旋转产生位移的陀螺测量仪
G01C19/72
无源环路中应用逆向旋转光束的陀螺测量仪，例如光纤激光陀螺测量仪
法律状态
2022-05-20 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01C 19/72
申请日 : 20211216
申请日 : 20211216
2022-04-29 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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