一种实现同步四波横向剪切干涉测量装置及方法
实质审查的生效
摘要

本发明公开了一种实现同步四波横向剪切干涉测量装置及方法,属于光学测量技术领域,解决了现有技术结构复杂、成本高,存在其他级次衍射光影响的问题。本发明利用两块具有双折射效应的晶体偏振分束器组合同步实现同步四波横向剪切,具体为一种实现同步四波横向剪切干涉测量装置,包括在主光轴上依次同心放置的被测元件、标准镜、分束棱镜、起偏器、第一晶体偏振分束器、第一λ/4波片、第二晶体偏振分束器、第二λ/4波片、检偏器、成像透镜、CCD相机,还包括与主光轴平行且同心设置的激光光源、显微物镜、透镜和平面反射镜。本发明光路调试简单,避免了二维光栅透射级次限定的问题,设计成本低、抗干扰能力强,稳定性和可靠性较好。

基本信息
专利标题 :
一种实现同步四波横向剪切干涉测量装置及方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114323312A
申请号 :
CN202111551013.4
公开(公告)日 :
2022-04-12
申请日 :
2021-12-17
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
刘丙才朱亚辉张郁文田爱玲朱学亮王红军任柯鑫王凯王思淇
申请人 :
西安工业大学
申请人地址 :
陕西省西安市未央区学府中路2号
代理机构 :
西安新思维专利商标事务所有限公司
代理人 :
黄秦芳
优先权 :
CN202111551013.4
主分类号 :
G01J9/02
IPC分类号 :
G01J9/02  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01J
红外光、可见光、紫外光的强度、速度、光谱成分,偏振、相位或脉冲特性的测量;比色法;辐射高温测定法
G01J9/00
测量光学相位差;测定相干性的程度;测量光学波长
G01J9/02
采用干涉法
法律状态
2022-04-29 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01J 9/02
申请日 : 20211217
2022-04-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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