阵列基板及其制造方法和显示面板
公开
摘要
本申请适用于显示技术领域，提出了一种阵列基板，包括衬底基板、设于衬底基板上的扫描线和信号线，以及设于扫描线和信号线交叉处的薄膜晶体管，扫描线和信号线中的至少一者包括第一金属层和叠设于第一金属层上的第一上氮化钼层。本申请同时提出一种阵列基板的制造方法以及一种显示面板。上述阵列基板中的扫描线和信号线中的至少一者包括第一金属层和设于第一金属层上的第一上氮化钼层，可以增大第一金属层的厚度，降低扫描线和/或信号线的线电阻，以满足高阶产品的需求。
基本信息
专利标题 ：
阵列基板及其制造方法和显示面板
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114300485A
申请号 ：
CN202111636849.4
公开（公告）日 ：
2022-04-08
申请日 ：
2021-12-29
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
卢劲松孙松熊钦洪文进许哲豪
申请人 ：
北海惠科光电技术有限公司;惠科股份有限公司
申请人地址 ：
广西壮族自治区北海市工业园区北海大道东延线336号广西惠科科技有限公司二期A座4楼A-430室
代理机构 ：
深圳中一联合知识产权代理有限公司
代理人 ：
杨志强
优先权 ：
CN202111636849.4
主分类号 ：
H01L27/12
IPC分类号 ：
H01L27/12 H01L21/77 G02F1/1362
法律状态
2022-04-08 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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