实现三维结构搭建的纳米压印机及装置
专利申请权、专利权的转移
摘要

本发明公开了实现三维结构搭建的纳米压印机及装置,其中纳米压印机,包括功能结构,所述功能结构包括具有压印胶承载平台和承载基台的平台系统、至少用于提供和分布压印胶的涂布系统、具有压印模板承载平台的模板系统及具有固化光源的固化系统,还包括:真空系统,包括箱体,所述箱体内部形成有真空室,所述真空室至少为所述功能结构的部分或者全部提供真空环境。本发明的纳米压印机,通过设置的整体真空成型环境,具有更为稳定的工作环境,从而实现了纳米压印成型的高效性和质量稳定性。

基本信息
专利标题 :
实现三维结构搭建的纳米压印机及装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114545729A
申请号 :
CN202111667153.8
公开(公告)日 :
2022-05-27
申请日 :
2021-12-31
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
罗刚
申请人 :
罗刚
申请人地址 :
江苏省苏州市吴中区郭苑路保利居上小区18栋1001
代理机构 :
苏州三英知识产权代理有限公司
代理人 :
席勇
优先权 :
CN202111667153.8
主分类号 :
G03F7/00
IPC分类号 :
G03F7/00  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
法律状态
2022-06-14 :
专利申请权、专利权的转移
专利申请权的转移IPC(主分类) : G03F 7/00
登记生效日 : 20220601
变更事项 : 申请人
变更前权利人 : 罗刚
变更后权利人 : 苏州鸿兴微纳科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 215000 江苏省苏州市吴中区郭苑路保利居上小区18栋1001
变更后权利人 : 215000 江苏省苏州市工业园区星湖街218号生物纳米园A7楼204D室
2022-06-14 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 7/00
申请日 : 20211231
2022-05-27 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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