本发明公开了一种实现梯度结构的蚀刻反应的喷淋方法，涉及到喷淋方法的技术领域，包括：步骤1：将晶体放置于腔体内，将所述晶体夹持；步骤2：控制喷淋装置升降至起始位置；步骤3：通过主旋转电机驱动所述喷淋装置由所述起始位置移动至腔体位置；步骤4：所述主旋转电机释放信息给次旋转电机；步骤5：所述次旋转电机从所述腔体内侧位置至晶体外缘做往复运动，用于驱动所述喷淋装置。短行程摆幅的设计确保有效地喷淋位置对应于晶圆外缘；调整喷淋的角度调整，专门对应于晶圆的扫描喷淋在晶圆外缘相对位置与高度；可以自旋转的喷淋角度移动，微量超短行程的交错喷淋装置。