一种DSC器件功率循环测试的双面冷却装置
授权
摘要
本实用新型提供一种DSC器件功率循环测试的双面冷却装置，包括内置有冷水通道的上冷水板和下冷水板、进水管、出水管、母排连接块；上冷水板和下冷水板平行放置，中间留有放置DSC器件的间隙；DSC器件的管脚伸出上冷水板和下冷水板两侧，待测的管脚与母排连接块连接；进水管和出水管均为三通管件，三通管件的一端外接设备，另外两端分别与上冷水板和下冷水板的冷水通道连通。本实用新型填补双面冷却这一技术的空白，同时可以兼容两种管脚形式的DSC器件的考核测试。
基本信息
专利标题 ：
一种DSC器件功率循环测试的双面冷却装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202120454193.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-03-03
授权号 ：
CN216670174U
授权日 ：
2022-06-03
发明人 ：
黄钰李忠涛罗昌平
申请人 ：
绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
申请人地址 ：
浙江省绍兴市越城区皋埠街道临江路518号
代理机构 ：
绍兴市知衡专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
张媛
优先权 ：
CN202120454193.3
主分类号 ：
G01R31/26
IPC分类号 ：
G01R31/26 F28D15/00 F28F27/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R31/26
•单个半导体器件的测试
法律状态
2022-06-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
