一种MEMS红外光源
授权
摘要
本实用新型提供了一种MEMS红外光源，属于红外光源技术领域。其技术方案为：一种MEMS红外光源，包括发热层，所述发热层包括由Pt金属膜作为导体制成的加热源以及设置在所述加热源两端的连接电极；所述加热源包括若干组并列设置且首尾串联的电阻结构，相邻所述电阻结构的连接端设置为一体化连接；每个所述电阻结构均包括至少两条并联设置的条形导体。本实用新型的有益效果为：采用的加热源结构不仅能够提高加热效率，可以为光源提供足够的热量，而且能够有效加热导体降低由于不同区域的热变形量不同而导致导体断裂的风险；提高了红外光源的稳定性，延长使用寿命；制备工艺较为简单，生产成本低，适于量产。
基本信息
专利标题 ：
一种MEMS红外光源
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202121010008.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-05-12
授权号 ：
CN216426756U
授权日 ：
2022-05-03
发明人 ：
王相路梦飞钟琮玮庞喜龙
申请人 ：
威海精讯畅通电子科技有限公司
申请人地址 ：
山东省威海市火炬高技术产业开发区火炬路221-1号
代理机构 ：
济南智圆行方专利代理事务所(普通合伙企业)
代理人 ：
路则谦
优先权 ：
CN202121010008.8
主分类号 ：
B81B7/02
IPC分类号 ：
B81B7/02 G01N21/3504 G01N21/359
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B81
微观结构技术
B81B
微观结构的装置或系统，例如微观机械装置
B81B7/00
微观结构系统
B81B7/02
包括功能上有特定关系的不同的电或光学装置，例如微电子—机械系统
法律状态
2022-05-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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