本实用新型属于光刻机技术领域，尤其为一种半导体生产制造用光刻机，针对现有的光刻机大多不便于对其进行安装与拆卸的工作，从而导致光刻机的更换或维修工作耗时较久的问题，现提出如下方案，其包括光刻机本体、支撑柱与底座，所述支撑柱的底部固定安装在底座的顶部，光刻机本体的底部固定安装有矩形柱，所述矩形柱的外侧内壁上活动抵接有插板，插板的外侧与支撑柱的内壁滑动连接，插板的一侧延伸至支撑柱的外侧并固定安装有连接板，连接板的底部内壁上固定安装有第一弹簧。本实用新型结构设计合理，通过插板与矩形柱的卡接配合以及插杆与支撑柱的卡接，方便对光刻机本体进行快速的安装与拆卸工作，可靠性高。