一种用于太阳能电池硅片亲水性合格氧化测试设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于太阳能电池硅片亲水性合格氧化测试设备，涉及太阳能电池硅片技术领域，包括测试设备本体、支撑柱和支撑板，所述测试设备本体的顶部固定连接有支撑柱，所述支撑柱的顶部固定连接有支撑板。本实用新型通过将高浓度的氧原子喷在电池硅片上，同时通过二号液压杆带动氧化设备移动，将高浓度的氧原子均匀的喷在电池硅片上，使得电池硅片的表面形成一层厚度均匀的氧化硅层，避免了现有的电池硅片表面的氧化硅层的厚度喷涂的不够均匀，使得电池硅片的亲水性较差，导致降低电池硅片使用寿命的问题，使得提高电池硅片的亲水性，从而达到抗P I D的效果，同时提高电池硅片的使用寿命。
基本信息
专利标题 ：
一种用于太阳能电池硅片亲水性合格氧化测试设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122353104.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-09-27
授权号 ：
CN216213358U
授权日 ：
2022-04-05
发明人 ：
王重阳
申请人 ：
天合光能（宿迁）光电有限公司
申请人地址 ：
江苏省宿迁市经济技术开发区通州路958号
代理机构 ：
深圳市兰锋盛世知识产权代理有限公司
代理人 ：
罗炳锋
优先权 ：
CN202122353104.9
主分类号 ：
H01L21/687
IPC分类号 ：
H01L21/687 H01L21/316 H01L31/18 H01L21/66
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
H01L21/687
使用机械装置的，例如卡盘、夹具或夹子
法律状态
2022-04-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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