基于太阳电池制造工艺的硅片表面抑制氧化系统
授权
摘要
本实用新型公开了基于太阳电池制造工艺的硅片表面抑制氧化系统，包括新风系统、臭氧过滤器；所述新风系统内沿空气输送方向依次设有初效过滤器、空调系统、中效过滤器；所述新风系统一侧设有末端带高效过滤器的输气管；所述高效过滤器下方设有烘干槽的车间；所述烘干槽一侧设有末端连接有烘干风机的烘干排气口，所述烘干风机上方设有末端带烘干高效过滤器的烘干输气管；所述的臭氧过滤器安在中效过滤器与高效过滤器之间、烘干输气管与烘干高效过滤器之间。本实用新型的有益效果是：通过臭氧过滤器，充分保证硅片表面不被臭氧氧化；通过多个输气管末端与车间相连，同时设置臭氧过滤器，提高臭氧去除效率；通过空调系统，实现车间内温度的稳定。
基本信息
专利标题 ：
基于太阳电池制造工艺的硅片表面抑制氧化系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921074760.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-10
授权号 ：
CN210303181U
授权日 ：
2020-04-14
发明人 ：
杜俊霖谢毅孟凡英刘正新
申请人 ：
中威新能源（成都）有限公司
申请人地址 ：
四川省成都市双流西南航空港经济开发区内
代理机构 ：
成都时誉知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
沈成金
优先权 ：
CN201921074760.1
主分类号 ：
B01D53/86
IPC分类号 ：
B01D53/86 B01D53/66 F26B21/00 H01L31/18
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D53/00
气体或蒸气的分离；从气体中回收挥发性溶剂的蒸气；废气例如发动机废气、烟气、烟雾、烟道气或气溶胶的化学或生物净化
B01D53/34
废气的化学或生物净化
B01D53/74
净化废气的一般方法；为这类方法特别设计的设备或装置
B01D53/86
催化方法
法律状态
2020-04-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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