一种探针型雪崩光电二极管自动测试装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种探针型雪崩光电二极管自动测试装置，包括测试柜，所述测试柜内设置有控制板、升降机构和夹具组件，所述升降机构上设置有探针板，夹具组件位于探针板的下方，其上设置有半导体致冷器和温度检测器，所述夹具组件上设置有氮气导管；所述测试柜外部设置有多路切换开关、直流源表、氮气阀门、TEC控制器和测试主机。本实用新型采用夹具组件将多片待测雪崩光电二极管芯片置于测试柜中进行测试，实现了待测雪崩光电二极管芯片的批量测试，有利于提高测试效率，降低人力成本和时间成本。
基本信息
专利标题 ：
一种探针型雪崩光电二极管自动测试装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122516824.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-10-19
授权号 ：
CN216434273U
授权日 ：
2022-05-03
发明人 ：
蔡红志于杰赵强
申请人 ：
滨松光子学商贸（中国）有限公司
申请人地址 ：
北京市朝阳区东三环北路27号嘉铭中心B座1201室
代理机构 ：
广东良马律师事务所
代理人 ：
李良
优先权 ：
CN202122516824.2
主分类号 ：
G01R31/26
IPC分类号 ：
G01R31/26
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R31/26
•单个半导体器件的测试
法律状态
2022-05-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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