一种光刻机维修保养环境保护装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种光刻机维修保养环境保护装置，包括防护罩，防护罩围设在光刻机需要维修保养的部位外侧，防护罩包括：四个支撑立柱，四个支撑立柱呈矩形分布，每个支撑立柱的内部竖直地设有导向滑杆，导向滑杆上滑动地套设有滑块；连接单元组，连接单元组设置在支撑立柱的外部，且连接单元组经连接杆与滑块相连接，其中，连接单元组包括呈直角分布的两个连接调节机构；滑动支撑杆，滑动支撑杆的两端分别与相邻两个支撑立柱上相对应的两个连接调节机构相连接，连接调节机构能够锁紧滑动支撑杆，其中，滑动支撑杆上连接有PVC软帘；驱动单元，用于驱动滑块沿导向滑杆上下移动。本实用新型组装简单快速、使用范围广、隔离保护效果好。
基本信息
专利标题 ：
一种光刻机维修保养环境保护装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122604980.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-10-28
授权号 ：
CN216210475U
授权日 ：
2022-04-05
发明人 ：
彭代全徐康褚书明周孝潘家英彭雅琴
申请人 ：
上海裕诗实业有限公司
申请人地址 ：
上海市松江区新松江路1800弄3号
代理机构 ：
上海伯瑞杰知识产权代理有限公司
代理人 ：
耿悦
优先权 ：
CN202122604980.4
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2022-04-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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