一种离子植入机维修保养环境保护装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种离子植入机维修保养环境保护装置,包括:封闭式工作仓,封闭式工作仓与离子植入机的后部密封连接;负压接口,设置在封闭式工作仓的顶部,负压接口与外部的负压发生设备相连接;滑杆,水平设置在封闭式工作仓的内部上方;多个第一负压吸风盘,分别经滑块与滑杆滑动连接,相邻两个第一负压吸风盘之间通过伸缩风管相连通;总管,设置在封闭式工作仓内,总管与负压接口相连通,且总管还与伸缩风管相连通;竖管,一端与总管相连通,竖管的另一端设置在封闭式工作仓的侧壁上,且竖管上设有至少一个外接口,外接口通过软管与第二负压吸风盘相连接。本实用新型避免了废气的逸散和对环境的污染,提高了废气的抽吸效率。
基本信息
专利标题 :
一种离子植入机维修保养环境保护装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122604900.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-10-28
授权号 :
CN216213252U
授权日 :
2022-04-05
发明人 :
彭代全徐康褚书明周孝潘家英彭雅琴
申请人 :
上海裕诗实业有限公司
申请人地址 :
上海市松江区新松江路1800弄3号
代理机构 :
上海伯瑞杰知识产权代理有限公司
代理人 :
耿悦
优先权 :
CN202122604900.5
主分类号 :
H01J37/317
IPC分类号 :
H01J37/317 B08B15/04 B08B5/04
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管,例如为了对其检验或加工的
H01J37/30
物体局部处理用的电子束管或离子束管
H01J37/317
用于改变物体的特性或在其上加上薄层的,如离子注入
法律状态
2022-04-05 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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