一种化学沉积炉加热系统
授权
摘要
本实用新型属于化工工艺生产设备领域，公开了一种化学沉积炉加热系统，加热系统包括设置在炉体的上层内周与沉积室之间的上加热器层、设置在炉体的下层内周与坩埚之间的下加热器层、控制上加热器层和下加热器层的PLC系统，上加热器层包括上独立加热器，每个上独立加热器与沉积室一一相对设置，下加热器层包括下独立加热器，每个下独立加热器与坩埚一一相对设置，每个沉积室和坩埚旁边均设有热电偶组件；每个上独立加热器和下独立加热器均对应连接有一个变压器，热电偶组件和变压器均连接PLC系统。本实用新型解决了硒化锌生产过程中化学沉积炉无法进行独立区域控温的问题，在化学沉积炉内实现精准独立检测温度和控制温度精准升降。
基本信息
专利标题 ：
一种化学沉积炉加热系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122670114.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-03
授权号 ：
CN216303983U
授权日 ：
2022-04-15
发明人 ：
杨雁培于金凤陈毅明
申请人 ：
安徽光智科技有限公司
申请人地址 ：
安徽省滁州市琅琊经济开发区南京路100号
代理机构 ：
北京天盾知识产权代理有限公司
代理人 ：
肖小龙
优先权 ：
CN202122670114.5
主分类号 ：
C23C16/30
IPC分类号 ：
C23C16/30 C23C16/448 C23C16/52 C23C16/44
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/22
以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C16/30
沉积化合物、混合物或固溶体，例如硼化物、碳化物、氮化物
法律状态
2022-04-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
