一种用于芯片检测的光源装置以及检测装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于芯片检测的光源装置以及检测装置,光源装置包括光源机构以及光环境调节机构;光环境调节机构包括驱动件以及光源透过板;光源透过板上形成有第一透光孔以及孔径小于第一透光孔孔径的第二透光孔;驱动件被配置为驱动光源透过板运动,以使光源机构所产生光线可选择性地与第一透光孔或第二透光孔对应;第一透光孔被配置为使光源机构所产生光线能够以均匀光线的方式照射在芯片上;第二透光孔被配置为使光源机构所产生光线中的部分光线以预设角度照射在芯片上。本实用新型可快速切换不同光线条件以对芯片的多项不同缺陷进行快速检测。
基本信息
专利标题 :
一种用于芯片检测的光源装置以及检测装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122752770.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-11-11
授权号 :
CN216560336U
授权日 :
2022-05-17
发明人 :
史赛冯利民
申请人 :
苏州华兴源创科技股份有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市工业园区青丘巷8号
代理机构 :
北京正理专利代理有限公司
代理人 :
王喆
优先权 :
CN202122752770.X
主分类号 :
G01N21/956
IPC分类号 :
G01N21/956 G01N21/01
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段,即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
G01N21/88
测试瑕疵、缺陷或污点的存在
G01N21/95
特征在于待测物品的材料或形状
G01N21/956
检测物品表面上的图案
法律状态
2022-05-17 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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