一种石英舟
授权
摘要
本实用新型提供了一种石英舟，包括由端板、固定部、支撑部、加强部和手持部，其中支撑部和固定部成了两列容置空间，可提升石英舟对硅片的装载数量；由于加强部的加强作用，因此可提升石英舟的装载重量；由于各部件结构的设计，还可简化石英舟的制备过程。
基本信息
专利标题 ：
一种石英舟
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122795835.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-15
授权号 ：
CN216563042U
授权日 ：
2022-05-17
发明人 ：
余仲杨宝立林金雨
申请人 ：
深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市坪山区龙田街道竹坑社区金牛东路62号一层至六层
代理机构 ：
广州嘉权专利商标事务所有限公司
代理人 ：
王本晋
优先权 ：
CN202122795835.9
主分类号 ：
H01L21/673
IPC分类号 ：
H01L21/673 H01L31/18
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2022-05-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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